德国菲希尔X射线荧光镀层测厚仪

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    产地 台州 是否进口 加工定制
    类型 镀层测厚仪 品牌 其他 型号 X-RAY
    测量范围 0-80(mm) 电源电压 220(V)

    图片20160927095058

    X射线荧光分析法 (XRFA)
    能量散射X射线荧光光谱法(EDXRF)作为镀层
    厚度测量和材料分析的方法,可用来定量和定性
    分析样品的元素组成,也可用于镀层和镀层系统
    的厚度测量。无论是在实验室还是工业生产环境
    中,这一方法都能更好胜任,并还可以与现代化
    设备一起发挥作用。
    EDXRF作为一种常用测试方法,有着其突出的优
    势。它几乎可以测量所有工艺相关元素,并且工
    作时无损且不接触样品。测量时间一般在数秒钟
    内,很少多于一分钟。通常不需要复制的样品制
    备,即可进行快速测量。利用该方法,可以同时
    测量均质材料及镀层的厚度和化学成分。不仅如
    此,EDXRF方法检测各种类型样品里的微量有害
    物质。
    此外,X射线荧光分析是一种清洁的测量方法,
    测量过程不使用任何化学制品。由于有着合理精
    巧的设计,X射线不会对操作人员和环境构成任
    何威胁:菲希尔X射线仪器是 安全可靠的

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    X射线测量系统

    将X射线荧光的测量原理转变为耐用高精度的测
    量设备,能在实验室和日常工业生产中可靠工
    作,需要有开创性的创造力和持之不懈的研发
    能力。在菲希尔,我们激情饱满,全力以赴。这
    点,您可以在FISCHERSCOPE X射线仪器广泛而
    多样的产品型号中一窥究竟
    比如,测量方向为自下往上型的光谱仪是快速便
    捷地测量大批量生产零件的理想选择。然而对于
    诸如硅晶片等不适合接触测量台的样品,那么正
    确的选择应该是测量方向为从上往下的仪器。
    另一方面,如果要测量引线框架上的针脚或
    判断某一区域内的均匀性时,就需要有极小测量
    面积并且有高精度可编程XY平台定位的仪器。
    对于在运行中的生产线上进行在线测量的要求严
    格的场合,就需要一个完全不同的测量系统,比
    如可以直接将测量头置于真空舱中。
    下文中提及的模块原则上将以不同组合形式,来
    阐明我们是如何更好地满足所有的这些需求的。
    菲希尔X射线测量系统是按照实际应用的需要研
    发制造以保障其 优性能。

    基本滤片
    特制的滤片以优化初级X射线的能量分布。这些
    滤片能吸收射线中不需要的部分,因而能得到
    理想的样品激发。视仪器型号不同,有单个的固
    定滤波器或可切换的多种滤波器可供选择。

    快门
    快门位于射线通道上,并只在测量过程中开启。
    当处于关闭状态时,它能防止初级X射线进入测
    量室中。它受到安全系统监控,只有在测量室完
    全关闭才会开启,消除对操作人员的辐射危险。
    视频摄像头
    菲希尔X射线光谱仪配备有高倍放大光学摄像
    头,这样就可以 定位样品测量位置。由于软
    件显示的是实际的光斑大小,即使十分细小的部
    位也能准确定位。为了避免视差影响,摄像头通
    过一个精密的光学成像系统,沿着初级X射线束
    方向,垂直观察样品,确保测量在正确的位置。
    狭缝
    狭缝(准直器)的作用在于限制初级X射线的横
    截面积,从而产生一个预设尺寸的测量点,这样
    就可以 调节X射线束的尺寸形状以满足各种
    应用的需要。视光谱仪型号不同,有单个固定准
    直器和多种可切换准直器可供选择。
    对于测量十分细小的物品,如框架上的焊接区,
    则采用了特殊的X射线光学系统,以镜面或多毛
    细孔设计取代了原来的狭缝。采用这一设计,可
    以测量极其微小的测试点,并同时产生足量多的
    激发强度。
    探测器
    X射线接收器测量样品反射回来的X射线荧光辐
    射的能量分布。接收器有不同型号,以优化适应
    不同应用的需要,主要有以下几种:

    比例接收器(PC)
    接收面积大,可以在小测量面上获得高计数
    率。能量分辨率 (FWHM) ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????E/E 的 8%.
    性价比高
    适用于常规的镀层系统和简单合金的测量
    硅PIN接收器 (PIN)
    能量分辨率远好于比例接收器(MnK的半高
    宽 FWHM约为 180 eV)
    适合测量多元素组成的合金或镀层,如金成
    分分析或是来料检验测量
    硅漂移接收器 (SDD)
    拥有 优的能量分辨率 (MnK的半高宽
    FWHM约为 140 eV)和超高的计数率(大
    于100 kcps)
    适合分析多种元素样品——甚至是相互干扰
    严重的元素,如金和铂,或是用于痕量分析
    光谱
    样品反射的辐射以光谱的方式显示,表示样品的
    特征元素分布。菲希尔的WinFTM软件根据光谱计
    算需要的测量参数,如镀层厚度或元素含量等。

    样品放置台
    无论是要快速放置样品并测量,还是要全自动
    测量结构复杂的样品,菲希尔X射线测量系统都
    配备有合适的样品平台,从简单的固定平台到可
    手动控制的XY平台,直到高精度可编程的XY平
    台。
    辅助定位
    简便快速的样品定位能节省时间和成本。因此,
    所有配备XY平台的仪器都配有激光点辅助定
    位,极大地简化了测量点定位操作。限位、刻度
    尺和样品台进一步简化了样品放置。
    仪器外罩
    为了能测量如印刷线路板之类的大平面样品,
    部分仪器在外壳四周有开槽设计,即所谓的C型
    槽。如此一来,就可以在关上仪器舱门时,也能
    进行测量这类样品了
    校准标准片
    一方面,菲希尔仪器基于基本参数法,无需校准
    即可得到 的测量结果;另一方面,高质量的
    校准确保测量结果具备可溯源性。菲希尔制造并
    销售溯源到 高等级的标准片。菲希尔拥有DKD
    校准实验室,保障了这些国际认可测量标准片的
    可溯源性。
    从2003年7月起,菲希尔做为德国 机构,
    获得遵循DIN EN ISO/IEC 17025标准测量“单
    位面积上质量”的DKD校准实验室资质。
    这标志着菲希尔可以以德国校准服务局的名义,
    出具(DKD/DAkkS)校准证书,校准单位面积
    质量的标准片,并用于校准测量镀层厚度的X射
    线荧光仪器。
    安全
    菲希尔的X射线测量系统是从消除对操作人员和
    环境危害的角度研发的。这些设计保障了X射线
    被严格限制在仪器内部的某些特定区域。牢固的
    屏蔽加上相应的外罩设计,保障了有害射线不
    会泄露出仪器外。两套相互独立的安全回路进一
    步防止了射线的外泄,即使是在外罩打开的情况
    下,都能保障安全。
    所有的菲希尔X射线仪器都是按照 新的标准研
    发和制造的,并经测试符合德国X射线条例的要求。

    由于这个原因,菲希尔开发了无需特殊培训就可
    以进行日常操作的WinFTM软件。基于众所周知
    的Windows标准,直观的用户界面,预先设定
    的自动流程和命令按钮,工作起来非常容易。所
    有实际需要的功能都可以快速进入和显示,整个
    界面看起来很整洁协调。
    坚实的物理基础
    WinFTM软件使用的基于基本参数的算法可以实
    现在单次测量中确定合金成分,厚度和镀层成
    分。无需使用标准片(校正),可以根据信号光
    谱 计算出未知的被测变量。
    校正
    质量标准要求测量设备都能用基于可追溯到国际
    或国家的校正标准片进行校正,这样的测量结果
    就是可追溯和有可比性的(比较其它方法而言)
    。基于这个原因,FISCHERSCOPE® X-RAY仪器
    的每个测量应用程式都是可以校正的。 WinFTM
    软件储存和管理所有的校正数据,这样可以简单
    方便地记录和证实校正情况
    误差计算 / 计算测量不确定性
    WinFTM软件提供完整的误差计算功能。单次测
    量(或几个测量值的平均值)的所有不确定性都
    会进行计算,会考虑标准片,校正测量的计数统
    计和测量本身的不确定性。测量不确定性保障了
    测量结果的所需要的追溯性。
    镀层厚度
    材料分析
    视频图像
    WinFTM软件以与基本射线相同的视角显示样品
    的图像。图像上集成有校准过刻度的自适应十字
    线,可以以实际尺寸显示样品表面的图像放大区
    域的测量点位置。自动聚焦功能可以方便,
    和重复实现光学聚焦。
    DCM-距离控制测量
    为 了 测 量 形 状 不 规 则 部 件 或 腔 体 内
    部,FISCHERSCOPE® X-RAY仪器具备一个基于
    距离测量修正的特点:DCM方法。这个功能可
    以用来测试表面形状复杂和测量腔体内部,当计
    算该区域的测量结果时,WinFTM软件会自动根
    据当前的测量距离进行修正。
    自动测量
    重复序列的测量可以很方便地通过预定义指令自
    动完成,这个可以通过激活用户定义的命令按钮
    顺序实现。即使是对操作员来说很复杂的测试方
    案,如生产质量控制,也可以集成到一个很简单
    的操作步骤中。
    当使用可编程的XY工作台时,样品上的测量点
    可以自动进行重复性的测试
    WinFTM软件可以通过图像处理识别特定结构并
    自动追踪测量位置。例如对于形状公差要求高的
    样品,这可以保障测量总是在正确的位置进行

    WinFTM ® 软件
    底材识别
    对某些镀层厚度的测量,WinFTM软件还可以自
    动分析底材成分。这不仅可以消除归一化时测量
    不同底材的需求,还可以增加结果的可靠性,因
    为镀层厚度可以在不受底材成分波动的情况下准
    确测量。
    材料种类 (COM)
    使用COM功能,未知的样品可以自动指定给预
    定义的材料种类。这些种类可以是各种不同的材
    料,如不同的合金,特定的镀层厚度或某个镀层
    结果的成分范围。
    例如,这样可以对金合金中的金含量的高,中,
    低进行区分或是否包含特定的合金元素。需要注
    意的是定义在种类中需要的光谱都是根据理论计
    算的,这样就不需要浪费很多时间做多种材料样
    品的校正。这个系统也可以适应或扩展以满足用
    户的特定需求。
    当测量未知样品或多组分材料和镀层厚度
    时,WinFTM软件可以自动选择合适的应用程式
    测量。
    例如在金合金分析时,WinFTM软件首先确定合
    金的类型,然后选择适合的测量应用程式,从而
    可以高精度地测定金含量。
    多次激发
    每个应用程式都设定了激发参数“高压”和“基
    本滤片”以便获得 可能好的结果。然而对于某
    些应用程式,有必要采用不同的激发条件以便
    优地测量所有参数。WinFTM软件允许在单次测
    量中使用多次激发,这样所有的参数都可以在
    好的条件下测试; 终结果进行综合评估后给
    出。

    可靠性
    没有什么比毫不知情地得到一个错误的测量结果
    更坏的了!为此WinFTM软件自动检查是否选择
    的应用程式匹配当前的待测样品,并在有差别时
    提醒操作员。后台测试监控仪器和基本参数确保
    测量结果的高度可靠。
    统计计算
    根据单个的测量结果,集成的统计功能计算平均
    值,标准偏差和变化率,并把这些值显示在统计
    窗口。测量结果可以以单个,列表或SPC图形的
    形式显示,也可以存档。

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    对于FISCHERSCOPE®X-RAYXUL和XULM系列来
    说,X射线源和接收器位于测量室的下方,这样
    可以快速方便地定位样品。除此以外,视频窗口
    也可以辅助定位,仪器前方的大控制台简化了操
    作,特别是在日常生产中测量大量部件时特别有
    用。
    尽管结构紧凑,但这些仪器都有大容量的测量
    室,这样大的物品也可以测量。壳体的开槽设计
    (C型槽)可以测量诸如印刷线路板类大而平整
    的样品,即使这些样品可能无法完全放入测量
    室。

    样品直接放置在平整的支撑台上,或者定位精度
    更高的手动XY工作台上。
    XUL和XULM都配备了比例接收器;但是它们配
    备的X射线管,滤片和准直器是不同的。便宜耐
    用的XUL配备了一个准直器和一个固定的滤片。
    内置的标准X-RAY管产生的基本射线光束较大;
    因此 小可用的准直器为0.3 mm。基于光线的
    扩散, 小的测量点在0.7 mm – 1mm左右。

    XULM适合测量小的结构。它配备了微聚焦管,
    测量点 小可达约100μm,同时比例接收器仍
    然可以保持相对高的计数率。即使很短的测量时
    间也可以达到很好的重复精度。此外,XULM配
    备了可自动切换的准直器和多种滤片可以灵活地
    为不同的测量应用创造 佳的激励条件。
    应用实例
    XULM特别适合测量细小的部件如连接器,触点
    或线,也可以测量印刷线路板上的Au,Ni和Cu
    镀层厚度。即使80nm的超薄的金镀层也可以用
    测量点为Ø0.25mm的准直器测量,20秒的重复
    精度可达2.5nm。

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